薄膜的力學性質主要包括附著性質、應力性質、彈性性質和機械強度等。薄膜和基片之間的附著性能好壞將直接影響到薄膜的使用性能。在某些情況下還需考慮薄膜的其他力學性能，如主要用于增強基體的硬度與耐摩擦能力的超硬薄膜，則需要考慮耐壓強度。